光電聯用：光學顯微鏡和電子顯微鏡數據關聯分析
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光學顯微鏡: JOMESA HFD
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掃描電子顯微鏡和能譜儀: JOMESA PSE
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JOMESA PSE屏幕：顯示光鏡和電鏡圖片 |
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選擇EDX分析區域 |
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SEM-EDX與LIBS：
帶有LIBS選項的光學顯微鏡只能分析光學方法識別的顆粒（可見光下能見顆粒）。
SEM分析能夠增加光學數據中看不到的顆粒信息（可見光下未探測到的顆粒）。
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SEM圖像看起來與光學圖像大不相同，可以顯示很多信息 |
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光學圖像 |
SEM圖像 |
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有時光學方法無法識別關鍵顆粒（玻璃、研磨材料） |
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光學圖像（玻璃纖維） |
SEM圖像（玻璃纖維） |
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光鏡(HFD)與電鏡
(SEM)兩種方法識別的顆粒計數不能進行比較。
這兩種檢測原理“看到”的顆粒是不同的。
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材料 |
光學檢測 |
SEM檢測 |
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有機 (纖維) |
好 |
差 |
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石墨 |
好 |
差 |
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氧化鋁 |
差 |
非常好 |
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玻璃 |
不能識別 |
非常好 |
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鹽類 |
差 |
非常好 |